技術(shù)編號(hào)：2732062
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種可變衰減器、 一種光刻設(shè)備以及一種器件制造方法。技術(shù)背景光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上或襯底的一部分上的機(jī)器。例如，可以將光刻設(shè)備用在平板顯示器、集成電路(ic)以及其他涉及精細(xì)結(jié)構(gòu)的器件的制造中。在現(xiàn)有的設(shè)備中，能夠被稱為掩模或掩模版的圖 案形成裝置能被用于生成與平板顯示器(或其他器件)的獨(dú)立層相對(duì)應(yīng)的 電路圖案。通過(guò)在設(shè)置在襯底上的輻射敏感材料(例如抗蝕劑)上成像， 該圖案能被轉(zhuǎn)移到襯底(例如玻璃板)的全部或一部分上。不同于電路圖案...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。