技術(shù)編號(hào):2731736
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微光刻投影曝光設(shè)備的投影物鏡。技術(shù)背景微光刻投影曝光設(shè)備用于制造諸如像是集成電路或LCD的微型結(jié)構(gòu) 部件。此類(lèi)投影曝光設(shè)備包括照明裝置和投影物鏡。在微光刻過(guò)程中, 將由照明設(shè)備照射的掩模(也稱(chēng)為分劃板)的圖像通過(guò)投影物鏡投影到 襯底(例如硅晶片)上,該襯底涂覆了光敏涂層(光致抗蝕劑)并排列 在投影物鏡的像平面上,以將掩模結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到光敏涂層上。在當(dāng)前技術(shù)狀態(tài)的微光刻物鏡中,具體的是具有大于1.4的數(shù)值孔 徑(NA)值的浸沒(méi)物鏡中,尤其對(duì)于物鏡的...
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