技術(shù)編號：2731674
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種靜電特性測量系統(tǒng)，特別是涉及一種阻抗自動(dòng)匹配的靜 電特性測量系統(tǒng)。背景技術(shù)薄膜晶體管是層積在玻璃基板上的晶體管，由于玻璃附著力的問題，薄 膜晶體管厚度相當(dāng)薄，并且近年來薄膜晶體管尺寸越縮越小，因此薄膜晶體管(Thin film Transistor, TFT)對于靜電放電(electrostatic discharge, ESD)相當(dāng)敏感，靜電放電也常常會(huì)造成薄膜晶體管損害，如何測試薄膜晶體 管最大耐靜電電壓，也就相形重要。發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。