技術(shù)編號：2731632
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的具體實施涉及利用納米壓印技術(shù)的結(jié)構(gòu)的加工。 背景技術(shù)紫外納米壓印技術(shù)用于進行微米和納米結(jié)構(gòu)的加工。納米壓印是一種機械 復(fù)制技術(shù)，其中模具被壓入旋涂于基板上的紫外固化抗蝕劑中。通過壓印區(qū)內(nèi) 所述模具的抗蝕劑的紫外光照射導(dǎo)致抗蝕劑的聚合和固化。然后取走所述模具，從而留下在抗蝕劑中形成的圖案的的倒置三維復(fù)制品(invertedthree dimensional replica)。取走所述壓印后的抗蝕劑中的多個薄層部分，以在抗蝕 劑層產(chǎn)生多個開口，形成用于...
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