技術(shù)編號：2731120
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。技術(shù)背景衰減相移掩模(APSM)采用一種相移器(shifter)，其在鉻較佳地阻隔 光時選擇性地發(fā)送約6-15%的光。然而，受限于APSM的曝光分辨率，僅使用APSM難以形成70nm或更 小的精細(xì)圖案?？赏ㄟ^圖1和圖2來說明。圖1示出現(xiàn)有技術(shù)的APSM，圖2是示出使用圖1中所示的APSM透射 的光強度曲線圖。參照圖1和圖2，現(xiàn)有技術(shù)的APSM具有在石英片10上被圖案化的相 移器20。相移器20由形成100nm圖案的區(qū)域21和形成70nm圖案...
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