技術(shù)編號：2731088
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光源裝置，特別涉及保護用于讀取在燈上顯示的燈數(shù)據(jù) 的燈數(shù)據(jù)讀取部的光源裝置。背景技術(shù)10 以往，利用將放電燈用作光源的曝光裝置，對基板曝光用于制造LSI等的掩模的圖案。曝光之前，需要準確設(shè)定掩模和基板的位置關(guān)系。因 此，在專利文獻1所公開的方法中，利用攝像裝置拍攝掩模和基板的校 準標記。對準掩模和基板的相對位置，使兩個標記一致。完成位置對準 之后，使攝像裝置退避。15 此外，若不是波長、光量等滿足預定規(guī)格的放電燈，則不能高精度地將基板曝光。新安裝...
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