技術(shù)編號：2730710
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及適于干膜抗蝕劑(DFR)等的圖案形成材料、以及具備該圖案形成材料的圖案形成裝置和使用了上述圖案形成材料的圖案形成方法。 背景技術(shù) 迄今為止，當(dāng)形成永久圖案等圖案時，使用通過在支撐體上涂布感光性樹脂組合物并進(jìn)行干燥從而形成感光層的圖案形成材料。作為上述圖案的形成方法，已知有如下所述的方法，例如，在形成上述圖案的鍍銅層合板等基體上，使用上述圖案形成材料形成感光層，對該感光層進(jìn)行曝光，該曝光后使上述感光層顯影，從而形成圖案，進(jìn)而進(jìn)行蝕刻處理等，然...
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