技術(shù)編號：2730057
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及均勻而高效地把照明光照射到被照明區(qū)域上的照明方法和使用該照明方法的曝光方法，另外，本發(fā)明還涉及使用該曝光方法曝光圖形的曝光裝置。特別是涉及使用多個(gè)半導(dǎo)體激光器的照明方法、曝光方法和曝光裝置。背景技術(shù) 以往，對被照明物體進(jìn)行照明，或?yàn)榱藢Ρ黄毓馕矬w進(jìn)行曝光而以水銀燈為光源，或使用激元激光器。這些光源為了驅(qū)動(dòng)而投入的能量絕大部分變成了熱量，是效率非常低的光源。近年來，半導(dǎo)體激光器(LD)的短波長化取得進(jìn)展，出現(xiàn)了400nm左右發(fā)光波長的LD，因此出現(xiàn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。