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圖案形成方法和圖案形成設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2729837

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本發(fā)明涉及一種通過(guò)使用給模子(或者模板)設(shè)置的壓印圖案在基板上的圖案形成材料上形成圖案的圖案形成方法,并且還涉及一種圖案形成設(shè)備。背景技術(shù) 近年來(lái),例如,如Stephan Y.Chou等人在Appl.Phys.Lett.,Vol.67,Issue 21,PP.3114-3116(1995)中所提出的那樣,用于將設(shè)置在模子上的細(xì)微結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印到待加工的構(gòu)件(例如樹(shù)脂材料或者金屬材料)上的精密加工技術(shù)已經(jīng)開(kāi)發(fā)并且受到人們的關(guān)注。該技術(shù)稱(chēng)為納米壓印(nanoimpr...
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