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光刻定位自組裝填充方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2729317

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本發(fā)明涉及一種制作列陣化的金屬納米陣列結(jié)構(gòu)的方法,特別是一種采用光刻定位技術(shù)配合納米球自組裝技術(shù)的。背景技術(shù) 近幾年,隨著微納加工技術(shù)和納米材料的發(fā)展,納米金屬結(jié)構(gòu)的電磁學(xué)性質(zhì)正受到越來越多的關(guān)注,光與納米金屬結(jié)構(gòu)的相互作用產(chǎn)生了一系列嶄新的物理現(xiàn)象。當(dāng)電磁波入射到納米金屬列陣結(jié)構(gòu)表面時,產(chǎn)生的局域表面等離子體LSP(Local Surface Plasmons)將使電磁能量劇烈地匯聚和增強(qiáng)?;谶@一特性,局域表面等離子體LSP在能量存儲、轉(zhuǎn)換、傳感等領(lǐng)域...
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