技術(shù)編號：2728093
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在曲面基底上進行調(diào)焦的裝置，尤其涉及。背景技術(shù) 傳統(tǒng)的對焦方法和裝置包括很多種，常見的如像散法調(diào)焦裝置，偏心光路法調(diào)焦裝置，斜光束調(diào)焦裝置，刀刃調(diào)焦裝置等，已廣泛應(yīng)用在如CD機，激光唱機等需要調(diào)焦的系統(tǒng)中。雖然這些方法和裝置簡單實用，且有著較高的調(diào)焦精度，但一般只能適用于加工或檢測平面物體，難以適用于曲面。在曲面物體或基片上進行調(diào)焦也可以通過變姿態(tài)曲面調(diào)焦方法和裝置來實現(xiàn)，也即物體(基片)或光刻物鏡兩者或其中之一姿態(tài)實時可動，以保持物體檢測表面和...
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