技術編號：2728018
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于光譜儀信號調(diào)制技術和誤差修正，特別涉及一種光彈調(diào)制器位相延 遲在線修正方法。 ' 背景技術橢圓偏振光測量技術和反射差分測量技術在半導體加工和薄膜分析方面，特別是膜厚測 量、多層結構分析、折射率與介電常數(shù)檢測和薄膜生產(chǎn)在線監(jiān)測、半導體工藝在線檢測等環(huán) 節(jié)，扮演著重要的角色。人們通常通過分析測試樣品在不同光學波段的光學反應，即光譜信 號，來判斷和確定樣品的屬性。因此，橢偏光譜術和反射差分光譜術應運而生，它們經(jīng)過一 次測量(即多個波長的光信號同時測量)...
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