技術(shù)編號：2728017
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種波導(dǎo)裝置及其制備方法，尤其是涉及一種與標準CMOS(互補金屬氧化物半導(dǎo)體)工藝完全兼容的，能在硅片上傳導(dǎo)光信號，進而實現(xiàn)片上光互連的波導(dǎo)裝置及其制備方法。背景技術(shù) 采用光波導(dǎo)來實現(xiàn)光發(fā)射裝置和光接受裝置的互相連接，具有互連“零”延時，沒有互連串擾，互連零功耗，沒有傳輸帶寬限制等四大優(yōu)勢。目前，實現(xiàn)片上光波導(dǎo)的主要方法有第一，利用場氧化層和它的“鳥嘴”結(jié)構(gòu)，把光信號耦合到二氧化硅中傳導(dǎo)；第二，利用SOI(絕緣硅)襯底上的氮化硅層，把光信號限制在...
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