技術(shù)編號：2726901
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明的領(lǐng)域涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。 背景技術(shù) 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包含微機(jī)械元件、致動器和電子器件?？墒褂贸练e、蝕刻和/或?qū)⒁r底和/或沉積材料層的部分蝕刻掉或添加層以形成電裝置和機(jī)電裝置的其它微機(jī)械加工工藝來制作微機(jī)械元件。一種類型的MEMS裝置稱為干涉式調(diào)制器。如本文所使用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉式光調(diào)制器指的是一種使用光學(xué)干涉原理選擇性地吸收且/或反射光的裝置。在某些實(shí)施例中，干涉式調(diào)制器可包括一對導(dǎo)電板，其中的一者或二者可能整體或部分透...
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