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圖案形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2726147

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本發(fā)明涉及一種將由空間光調(diào)制元件等光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制了的光在感 光層上成像而將該感光層曝光的。背景技術(shù)以往提出過(guò)各種用由數(shù)字微鏡器件(DMD)等空間光調(diào)制元件(SLM) 與圖案信息(圖像數(shù)據(jù))對(duì)應(yīng)地調(diào)制了的光進(jìn)行曝光的曝光裝置。上述DMD是將反射面的角度與控制信號(hào)對(duì)應(yīng)地變化的多個(gè)微鏡在硅 等半導(dǎo)體基板上二維地排列而成的反射鏡設(shè)備。在利用使用了該DMD的 以往的數(shù)字曝光方式的曝光裝置的曝光方法中,使用例如具備照射激光的 光源、將由該光源照射的上述激光準(zhǔn)直的透鏡系...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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