技術(shù)編號(hào):2726147
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將由空間光調(diào)制元件等光調(diào)制機(jī)構(gòu)調(diào)制了的光在感 光層上成像而將該感光層曝光的。背景技術(shù)以往提出過(guò)各種用由數(shù)字微鏡器件(DMD)等空間光調(diào)制元件(SLM) 與圖案信息(圖像數(shù)據(jù))對(duì)應(yīng)地調(diào)制了的光進(jìn)行曝光的曝光裝置。上述DMD是將反射面的角度與控制信號(hào)對(duì)應(yīng)地變化的多個(gè)微鏡在硅 等半導(dǎo)體基板上二維地排列而成的反射鏡設(shè)備。在利用使用了該DMD的 以往的數(shù)字曝光方式的曝光裝置的曝光方法中,使用例如具備照射激光的 光源、將由該光源照射的上述激光準(zhǔn)直的透鏡系...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。