技術(shù)編號(hào)：2725745
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光刻膠組合物。 背景技術(shù)用于應(yīng)用光刻過程的半導(dǎo)體微制造的光刻膠組合物含有樹脂和產(chǎn)酸劑，所述產(chǎn) 酸劑包含通過輻射產(chǎn)生酸的化合物。US 2003/0099900 Al公開了包含樹脂、產(chǎn)酸劑和溶劑的光刻膠組合物，所述樹脂具有衍生自甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯的結(jié)構(gòu)單元、衍生自甲基丙烯酸3-羥 基-1-金剛烷基酯的結(jié)構(gòu)單元和衍生自α -甲基丙烯酰氧基-Y-丁內(nèi)酯的結(jié)構(gòu)單元。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種光刻膠組合物。本發(fā)明涉及如下內(nèi)容<1> 一...
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