技術(shù)編號(hào)：2721373
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供了一種基于水平狹縫光波導(dǎo)的微盤諧振腔，屬于集成型光傳感領(lǐng)域，包括一個(gè)圓形微盤，所述微盤沿軸向方向由半導(dǎo)體薄膜甲與半導(dǎo)體薄膜乙交替層疊組成，所述半導(dǎo)體薄膜甲位于外層，所述半導(dǎo)體薄膜甲與半導(dǎo)體薄膜乙同心設(shè)置，所述半導(dǎo)體薄膜乙被從邊緣處向內(nèi)腐蝕進(jìn)去一部分，形成由多層懸空薄膜構(gòu)成的微盤諧振腔。本實(shí)用新型提供的微盤諧振腔由低傳輸損耗的狹縫波導(dǎo)組成，既具有將光限制在低折射率材料中的特性，也具有較高的品質(zhì)因子，可用來制作高靈敏度的生物或化學(xué)傳感器。專利說明...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。