技術(shù)編號(hào):2718298
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開(kāi)了一種曝光設(shè)備中的透鏡冷卻裝置,包括至少一個(gè)透鏡;至少部分包覆所述至少一個(gè)透鏡的冷卻套,所述冷卻套為中空結(jié)構(gòu),包括進(jìn)口和出口,在所述中空結(jié)構(gòu)中具有用于冷卻的流體;制冷裝置,與所述冷卻套連接,用于將對(duì)液體進(jìn)行制冷,并將制冷之后的液體傳送至所述冷卻套;溫度傳感器,與所述冷卻套連接,用于對(duì)冷卻套的溫度進(jìn)行感測(cè);溫度控制裝置,與所述溫度傳感器和所述制冷裝置連接,用于根據(jù)所述溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果控制制冷裝置的運(yùn)行。本實(shí)用新型提出的透鏡冷卻裝置,能夠得到...
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