技術(shù)編號(hào)：2718202
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種光刻機(jī)偏振照明系統(tǒng)光瞳偏振態(tài)測(cè)量裝置，包括反射鏡、針孔板、成像物鏡、中繼物鏡、相位補(bǔ)償板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯頓棱鏡、聚焦鏡、像傳感器。光刻機(jī)照明系統(tǒng)的偏振光束入射到反射鏡上，被反射到與照明系統(tǒng)光軸垂直的方向，投射到針孔板上，通過(guò)針孔的光束再經(jīng)過(guò)成像物鏡和中繼物鏡準(zhǔn)直成平行光束，通過(guò)相位補(bǔ)償板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯頓棱鏡上，被沃拉斯頓棱鏡分成2束光，經(jīng)過(guò)聚焦鏡投射到像傳感器上。本實(shí)用新型可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)照明光瞳偏振態(tài)的動(dòng)態(tài)變化，直...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。