技術(shù)編號(hào)：2717731
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種采用電印刷技術(shù)制備聚合物PMMA光波導(dǎo)器件的方法，屬于聚合物平面光波導(dǎo)器件制備。其是在PMMA基片上蒸發(fā)鋁膜，然后通過(guò)旋涂、光刻、濕法刻蝕等半導(dǎo)體工藝制備出幾微米到幾十微米不同寬度的集成電極布線，進(jìn)而制備出電印刷模板，然后通過(guò)電印刷模板加熱聚合物薄膜，使聚合物材料的折射率發(fā)生變化，進(jìn)而制備出集成光路器件。本發(fā)明的器件及其制作方法，器件成本低，成品率高，工藝簡(jiǎn)單，制備速度快，適合大批量生產(chǎn)。專利說(shuō)明一種采用電印刷技術(shù)制備聚合物PMMA光波導(dǎo)器件的方法 ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。