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電調(diào)諧微流控變焦透鏡陣列芯片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2717588

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本發(fā)明專(zhuān)利涉及一種新穎的電調(diào)諧微流控變焦透鏡陣列芯片結(jié)構(gòu)及其工作原理,屬于光成像和光信息處理器件的。背景技術(shù) 微流控光學(xué)是一項(xiàng)具有重要意義的新技術(shù),它將現(xiàn)代微流控技術(shù)和微光電子技術(shù)相結(jié)合,研制一類(lèi)能夠根據(jù)外界環(huán)境變化、具有結(jié)構(gòu)重組和自適應(yīng)調(diào)節(jié)能力的光學(xué)集成器件和系統(tǒng),將在傳感、通信、信息處理等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景[1]。微透鏡陣列是一種二維集成器件,可實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件的集成化,促進(jìn)微光器件、波導(dǎo)器件、光集成器件的發(fā)展,這種器件在光通信、光成像、光存儲(chǔ)、光顯示...
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