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利用熱顯影增強(qiáng)電子束光刻膠對(duì)比度的制備高密度平整圖形的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2716863

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體及納米加工,具體為一種利用熱顯影增強(qiáng)電子束光刻膠對(duì)比度的制備厚膠高密度光滑圖形的方法。本發(fā)明包括對(duì)襯底表面進(jìn)行清洗和烘干處理;在襯底上旋涂光刻膠;對(duì)所述光刻膠進(jìn)行前烘和電子束曝光;對(duì)所述曝光后的光刻膠進(jìn)行顯影處理,顯影過(guò)程中實(shí)施加溫和超聲振蕩;對(duì)顯影后的光刻膠進(jìn)行定影和干燥處理。本發(fā)明方法對(duì)于電子束光刻過(guò)程中的鄰近效應(yīng)有明顯的抑制作用,有利于使用低靈敏度光刻膠制備厚膠中高密度光滑圖形,能夠用于高精度納米器件結(jié)構(gòu)的制備。專利說(shuō)明利用熱顯影増強(qiáng)...
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