技術(shù)編號(hào)：2716842
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種雙折射消偏振薄膜，由于使用了傾斜沉積的各向異性高反射膜系，其利用了在不同沉積角度下薄膜的雙折射特性，通過對(duì)高低折射率膜層折射率的組合，在45°傾斜入射條件下實(shí)現(xiàn)了TE和TM兩種偏振態(tài)光波在中心工作波長(zhǎng)范圍內(nèi)的消偏振，且該雙折射消偏振薄膜的光學(xué)性能可由沉積薄膜材料以及薄膜沉積過程中傾斜角度的選擇來調(diào)控，因而具有很高的設(shè)計(jì)靈活性和系統(tǒng)集成度。專利說明雙折射消偏振薄膜 [0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，尤其涉及一種雙折射消偏振薄膜。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。