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基于二維碳材料的平面光波導(dǎo)加熱裝置及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2715943

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本發(fā)明公開了一種。包含覆蓋在平面光波導(dǎo)上的二維碳材料透明熱電阻和連接外部電源的兩個(gè)接觸點(diǎn),平面光波導(dǎo)由襯底和自下而上依次沉積在襯底上的隔離層、芯層和二維碳材料透明熱電阻組成,二維碳材料透明熱電阻覆蓋在平面光波導(dǎo)的芯層上表面的一側(cè),與芯層直接接觸,兩個(gè)接觸點(diǎn)分別經(jīng)連接導(dǎo)線連接在二維碳材料透明熱電阻的兩端。本發(fā)明具有加熱效率高、能達(dá)到更高的加熱溫度、加熱速度快等優(yōu)點(diǎn),并具備硅光子器件制備工藝兼容性,適用于小型化平面光波導(dǎo)熱光器件。專利說明 [0001]本...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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