技術(shù)編號：2715199
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于MEMS微鏡折疊式的掃描光學(xué)系統(tǒng)，屬于光學(xué)領(lǐng)域。解決了現(xiàn)有MEMS掃描系統(tǒng)，掃描視場角小的問題。它包括聚焦透鏡組、MEMS微鏡、f-θ透鏡組和擴(kuò)角透鏡組；入射光經(jīng)聚焦透鏡組透射后，再經(jīng)MEMS微鏡反射后，入射至f-θ透鏡組，經(jīng)f-θ透鏡組透射后，入射至擴(kuò)角透鏡組，經(jīng)擴(kuò)角透鏡組擴(kuò)角后的透射光與系統(tǒng)光軸的夾角為θ2，且f2小于f1；其中，θ1為經(jīng)MEMS微鏡反射的光與系統(tǒng)光軸的夾角，f2表示擴(kuò)角透鏡組的有效像方焦距，f1表示f-θ透鏡組的焦距；所述的MEM...
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