技術(shù)編號：2715084
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種描繪方法以及描繪裝置。描繪方法包括檢測設置在基板的多個芯片的對準標記的位置，算出距正規(guī)位置的位置偏移量。如果是各對準標記間的相對的位置偏移較小的線性偏移，使平臺只移動所求出的移動量而調(diào)整描繪位置。在非線性偏移的情況下，推定并實際測量另外的對準標記的位置，如果推定位置與實際位置之間的位置偏移小，修正柵格數(shù)據(jù)，如果推定位置與實際位置之間的位置偏移大，通過對準標記檢測而求出各芯片的位置，并進行重新的柵格圖像加工處理。專利說明描繪方法w及描繪裝置 ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。