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圖形預(yù)處理方法以及測(cè)量圖形密度的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2714657

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本發(fā)明的中,圖形預(yù)處理方法包括在圖形的直角處,當(dāng)直角為90°或者270°,在所述圖形的所述直角處切去或著補(bǔ)上一等腰直角三角形。本發(fā)明的測(cè)量圖形密度的方法包括提供光刻掩模板版圖,將所述光刻掩模板版圖按單位面積劃分成若干單元,每個(gè)單元包括有若干目標(biāo)圖形和若干冗余圖形;采用圖形預(yù)處理方法,分別對(duì)所述目標(biāo)圖形和所述冗余圖形進(jìn)行預(yù)處理,得到預(yù)處理目標(biāo)圖形和預(yù)處理冗余圖形;計(jì)算所述單元內(nèi)的所有預(yù)處理目標(biāo)圖形以及所有預(yù)處理冗余圖形的面積,得到總面積,用總面積除以單位面積...
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