技術(shù)編號(hào):2714657
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的中,圖形預(yù)處理方法包括在圖形的直角處,當(dāng)直角為90°或者270°,在所述圖形的所述直角處切去或著補(bǔ)上一等腰直角三角形。本發(fā)明的測(cè)量圖形密度的方法包括提供光刻掩模板版圖,將所述光刻掩模板版圖按單位面積劃分成若干單元,每個(gè)單元包括有若干目標(biāo)圖形和若干冗余圖形;采用圖形預(yù)處理方法,分別對(duì)所述目標(biāo)圖形和所述冗余圖形進(jìn)行預(yù)處理,得到預(yù)處理目標(biāo)圖形和預(yù)處理冗余圖形;計(jì)算所述單元內(nèi)的所有預(yù)處理目標(biāo)圖形以及所有預(yù)處理冗余圖形的面積,得到總面積,用總面積除以單位面積...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。