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一種基于共光路系統(tǒng)下的相位顯微干涉成像系統(tǒng)及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2714086

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本發(fā)明公開了,充分利用共軸系統(tǒng)的穩(wěn)定性,將樣品放在經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直的光束中,物光與參考光共光路,一可旋轉(zhuǎn)角度的反射鏡將參考光束改變方向,使物光與參考光束重迭相遇,變化反射鏡角度可產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的同軸、離軸和輕微離軸干涉,其相位干涉圖經(jīng)后置顯微鏡顯微放大后在CCD傳感器上產(chǎn)生數(shù)字干涉圖像。對(duì)此干涉圖像進(jìn)行相應(yīng)的相位恢復(fù)和解構(gòu)運(yùn)算可得到相位體樣品的空間結(jié)構(gòu)形態(tài)。本發(fā)明在使用過(guò)程中有效地減少測(cè)量過(guò)程中產(chǎn)生的噪音,并且通過(guò)改變可旋轉(zhuǎn)反射鏡的角度,改變物光束和參考光束之間的夾...
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