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紫外掩膜及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2712618

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本發(fā)明公開了一種。該紫外掩膜包括覆設(shè)于彩色濾光片基板的顯示區(qū)的黑色矩陣光阻層;其制作方法包括在彩色濾光片基板上覆設(shè)黑色矩陣光阻材料,并選擇性地除去分布于所述基板的非顯示區(qū)的黑色矩陣光阻材料,而保留分布于所述基板的顯示區(qū)的黑色矩陣光阻材料,以及,使分布于所述顯示區(qū)的黑色矩陣光阻材料固化,形成所述紫外掩膜。本發(fā)明通過采用CF制程代替現(xiàn)有的Array制程,只需彩色濾光片黑色光阻(簡稱為CF?BM)黃光制程即可完成紫外掩膜的制作,相比Array制程減少了一次成膜,...
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