技術(shù)編號：2712318
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種光學(xué)精密系統(tǒng)的對準(zhǔn)裝置，涉及精密儀器，其中，本發(fā)明通過在第一物體上設(shè)置第一對準(zhǔn)標(biāo)記，在第二物體上設(shè)置第二對準(zhǔn)標(biāo)記，利用照明系統(tǒng)給所述第一物體上的第一對準(zhǔn)標(biāo)記提供照明，利用成像系統(tǒng)將第一物體上的第一對準(zhǔn)標(biāo)記成像在第二物體表面后形成第三對準(zhǔn)標(biāo)記，且第二對準(zhǔn)標(biāo)記及第三對準(zhǔn)標(biāo)記在第二物體表面重疊后形成第一圖像。進(jìn)而利用觀測系統(tǒng)中的成像模塊、聚束模塊將包含多組、離散分布的對準(zhǔn)標(biāo)記的第一圖像會聚后，形成第二圖像，由單個探測模塊和處理模塊接收、處理，實現(xiàn)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。