技術(shù)編號：2712141
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。，由硅光柵結(jié)構(gòu)(1)、光刻膠(3)與金屬膜(4)組成；所制作的光柵槽型是頂角等于90°的三角形，可以獲得比頂角不是90°的階梯光柵更高的衍射效率；光柵結(jié)構(gòu)在斜切的單晶硅片中產(chǎn)生，光柵閃耀角度由切割硅片時切偏角決定，可以實現(xiàn)任意閃耀角光柵制作；90°頂角通過在非直角頂角硅光柵槽中填充光刻膠，并再次進(jìn)行光刻產(chǎn)生，可將以往非90°頂角的硅光柵轉(zhuǎn)變成90°頂角的三角形槽光柵，所制作的光柵結(jié)構(gòu)，光柵閃耀面是光滑的單晶硅<111>晶格面，能有效降低散射，提...
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