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亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)紅外雙波段馬賽克陣列濾光片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2710679

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亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)紅外雙波段馬賽克陣列濾光片,屬于二元光學(xué)與紅外景象生成。所述濾光片由硅基底和位于該基底之上的亞波長(zhǎng)光柵陣列構(gòu)成,其中亞波長(zhǎng)光柵陣列為由若干個(gè)單元形成的馬賽克陣列結(jié)構(gòu),每個(gè)單元僅透過(guò)雙波段中的一個(gè)波段,且每?jī)蓚€(gè)相鄰單元透過(guò)的波段不同。本發(fā)明中,亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)可通過(guò)改變介質(zhì)光柵層與金屬光柵層的周期,實(shí)現(xiàn)以2.5μm和3.6μm為中心波長(zhǎng)的帶寬為0.1μm的窄帶濾光功能,并使兩種光柵結(jié)構(gòu)按交錯(cuò)排列,形成雙波段紅外濾光片馬賽克陣列。專(zhuān)利說(shuō)明亞波長(zhǎng)光柵...
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