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一種微型高性能正交硅波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2710503

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本發(fā)明提供了一種微型高性能正交硅波導(dǎo)結(jié)構(gòu),采用正交交叉的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),波導(dǎo)的組成材料為硅。在波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的內(nèi)部、四個(gè)正交交叉口處分別設(shè)有棱鏡結(jié)構(gòu),棱鏡結(jié)構(gòu)的折射率低于組成波導(dǎo)的基底材料。進(jìn)一步地,在波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的正交交叉點(diǎn)的四個(gè)外角處加設(shè)有修飾結(jié)構(gòu),其厚度與波導(dǎo)的厚度一致;所述修飾結(jié)構(gòu)由兩個(gè)形狀相同的微結(jié)構(gòu)拼接而成,兩個(gè)微結(jié)構(gòu)拼接后沿著正交交叉外角的對(duì)角線成鏡面對(duì)稱。當(dāng)基模在波導(dǎo)內(nèi)傳播時(shí),本發(fā)明的結(jié)構(gòu)可以保持小于0.2dB的損耗,同時(shí)可以維持很低的串?dāng)_損耗和反射損耗,...
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