技術編號：2710398
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種，測量裝置包括反射鏡、針孔板、成像物鏡、中繼物鏡、相位補償板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯頓棱鏡、聚焦鏡、像傳感器。本發(fā)明可以實時監(jiān)測照明光瞳偏振態(tài)的動態(tài)變化，直接測量得到每一個歸一化的斯托克斯參量，或者每一個斯托克斯參量，1/4波片和1/2波片分別僅有2個定位位置，不需要連續(xù)旋轉，運動控制簡單可靠。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種光瞳偏振態(tài)測量，特別涉及一種光刻機偏振照明系統(tǒng)的光瞳偏振態(tài)測量裝置以及測試方法。背景技術[0002]光刻機是一種將所需...
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