技術(shù)編號：2710046
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供了一種，光刻膠的制備裝置包括金屬納米顆粒產(chǎn)生設(shè)備，用于產(chǎn)生金屬納米顆粒；以及回收設(shè)備，用于收集所述金屬納米顆粒并將其分散在液體中。本發(fā)明的光刻膠的制備裝置能夠制備金屬納米顆粒摻雜濃度高、且無需添加表面活性劑的光刻膠。專利說明光刻股的制備裝直及制備方法[0001]本發(fā)明涉及集成電路領(lǐng)域，具體涉及。背景技術(shù)[0002]隨著集成電路集成度的逐漸增加，在集成電路工藝中需要更窄的光刻線條。為了使得光刻工藝中光刻線條變窄，目前常用的手段是采用非線性光刻膠，即...
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