技術(shù)編號：2708839
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明針對于設計及使用具有正交底層虛擬填充的疊蓋目標。根據(jù)各種實施例，疊蓋目標可包含形成至少一個疊蓋目標結(jié)構(gòu)的一個或一個以上經(jīng)分段疊蓋圖案元素。所述疊蓋目標可進一步包含形成至少一個虛擬填充目標結(jié)構(gòu)的一個或一個以上非作用圖案元素。所述一個或一個以上非作用圖案元素中的每一者可包含沿正交于至少一個接近安置的疊蓋圖案元素的分段軸的軸而分段的虛擬填充。在一些實施例中，所述目標結(jié)構(gòu)或?qū)又械拿恳徽呖捎蛇B續(xù)安置于例如硅晶片的襯底上的單獨工藝層形成。在一些實施例中，所述疊蓋...
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