技術(shù)編號(hào)：2708827
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種適用于大批量制造邊緣增強(qiáng)型的相移掩模的相移掩模坯料。所述相移掩模坯料（MB）具有玻璃基板（S）；形成在玻璃基板表面上的、主要成分為Cr的相移層（11）；以從玻璃基板朝向相移層的方向?yàn)樯?，在相移層上形成的、以從Ni、Co、Fe、Ti、Si、Al、Nb、Mo、W及Hf中選出的至少一種的金屬為主要成分的蝕刻阻擋層（12）；以及在蝕刻阻擋層上形成的、主要成分為Cr的遮光層（13）。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及一種，更詳細(xì)地說是涉及一種適用于...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。