技術(shù)編號：2708363
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種大尺寸光柵制造設(shè)備，屬于高精度自動化刻蝕設(shè)備。X軸直線電機驅(qū)動被加工工件以極低速連續(xù)運動或納米級定位運行，Z軸直線電機驅(qū)動化學(xué)涂膠或光刻處理盒運動，調(diào)節(jié)化學(xué)涂膠或光刻處理盒與被加工工件之間的距離。整機振動頻率在10Hz以下，消除了設(shè)備自身振動及環(huán)境的振動噪聲影響。被加工工件以極低速平穩(wěn)運行時，CNC數(shù)控裝置控制化學(xué)涂膠或光刻處理盒進(jìn)行高質(zhì)量連續(xù)均勻地鍍膜。直線電機驅(qū)動被加工工件以納米級定位精度極低速運行時，CNC數(shù)控裝置控制化學(xué)涂膠或光刻蝕處理盒進(jìn)行激...
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