技術(shù)編號：2707565
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種旋轉(zhuǎn)式三維曝光裝置，包括一個旋轉(zhuǎn)樣品臺和驅(qū)動旋轉(zhuǎn)樣品臺的第一步進(jìn)馬達(dá)，所述旋轉(zhuǎn)樣品臺和第一步進(jìn)馬達(dá)垂直固定在一個旋轉(zhuǎn)可控的中軸上，所述中軸通過軸承固定在機(jī)箱上并由第二步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動，所述的旋轉(zhuǎn)樣品臺上方設(shè)有LED平行紫外光源，機(jī)箱上設(shè)有控制面板，控制面板上設(shè)有顯示屏，顯示屏下方依次設(shè)有傾斜角旋鈕、步進(jìn)角度旋鈕、間隔時間旋鈕、啟動曝光按鈕和停止曝光按鈕；本實(shí)用新型的有益效果是1.曝光平面方向任意可調(diào)；2.樣品在曝光平面的旋轉(zhuǎn)任意可調(diào)；3.適...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。