技術編號：2706415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光刻膠聚合物及包括該聚合物的光刻膠組合物。具體地，本發(fā)明涉及 適于光刻加工的聚合物及光刻膠組合物，其中該聚合物包括基于米氏酸(Meldrum's acid) (即2，2- 二甲基-1，3- 二噁烷-4，6- 二酮)衍生物的重復單元?，F(xiàn)有技術根據(jù) International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), 2006 年 更新，EUV光刻是制造32nm半間距裝置(half-pitch dev...
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