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Tof-sims的樣品圖像系統(tǒng)和tof-sims的制作方法技術資料下載

技術編號:2705954

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本實用新型公開了一種TOF-SIMS的樣品圖像系統(tǒng)和TOF-SIMS,樣品圖像系統(tǒng)包括安裝于TOF-SIMS的主腔體外的電荷藕合器件圖像傳感器、變焦鏡頭和光源、以及設置于主腔體內(nèi)的第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡,第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡通過安裝孔套裝于二次離子提取系統(tǒng)的殼體。上述TOF-SIMS的樣品圖像系統(tǒng),通過在主腔體內(nèi)設置第一反射鏡、第二反射鏡和第三反射鏡,實現(xiàn)了光線的內(nèi)外傳輸,達到將電荷藕合器件圖像傳感器、變焦鏡頭和光源設置在主腔體的...
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