技術(shù)編號(hào)：2705117
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種新的離子型熱酸生成劑組合物。同樣提供了光刻膠組合物、抗反射涂覆組合物，和化學(xué)修整外涂層組合物，和使用這些組合物的方法。專利說明用于低溫應(yīng)用的離子型熱酸生成劑1.[0001]一方面，本發(fā)明涉及具有低起始溫度的新的熱酸生成劑，以及包含這種熱酸生成劑的組合物。2.背景技術(shù)[0002]光刻膠是用于轉(zhuǎn)印圖像至基底的光敏性薄膜。其形成負(fù)性的或正性圖像。在將光刻膠涂覆于基底上之后，涂層通過圖案化的光掩模置于活性能量源(例如紫外光)中，以在光刻膠涂層中形成...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。