技術(shù)編號：2703319
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種，包括將多片基板貼附于承載板上，且基板彼此分離。擷取貼附有基板的承載板的參考影像。對參考影像進行影像處理以獲得基板的處理信息。使用激光記憶曝光機根據(jù)基板的處理信息對基板進行曝光步驟。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種基板上的圖案形成(patterning)方法,特別是涉及一種使用激光記憶曝光機的。背景技術(shù)[0002]在一般半導(dǎo)體工藝中，微影工藝(photolithography)可以說是最舉足輕重的步驟之一。這是由于凡是與半導(dǎo)體元件結(jié)構(gòu)相關(guān)者，例如各層...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。