技術(shù)編號(hào)：2702626
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。，其特征在于，包括以下步驟使用包括光電轉(zhuǎn)換器件、探測(cè)鏡組、投影鏡組、狹縫、照明鏡組和光源的測(cè)量裝置，從光源發(fā)出的光線依次通過照明鏡組和狹縫后被分為多束光線，該多束光線通過投影鏡組后以一定的角度斜入射到位于工件臺(tái)的工件上，形成多個(gè)投影光斑，工件將光線反射后形成多束反射光線，該多束反射光線通過探測(cè)鏡組后，在光電轉(zhuǎn)換器件上形成多個(gè)光斑，并獲取多個(gè)光斑的圖像信號(hào)；對(duì)采集的圖像做傅里葉變換；提取出相位的頻率為Fm的相位值P；根據(jù)相位值P，對(duì)標(biāo)定數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行計(jì)算并求出離...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。