技術(shù)編號：2702360
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。。其中多色調(diào)光掩模包含透光部、遮光部、第1半透光部和第2半透光部，第1半透光部是在透明基板上形成第1半透光膜而成，第2半透光部是在透明基板上形成第2半透光膜而成，所述制造方法具有在透明基板上層疊第1半透光膜、遮光膜和第1抗蝕劑膜；對第1抗蝕劑膜實施第1描繪來形成第1抗蝕劑圖案；蝕刻遮光膜和第1半透光膜；形成第2半透光膜和第2抗蝕劑膜；對第2抗蝕劑膜實施第2描繪來形成第2抗蝕劑圖案；蝕刻第2半透光膜，以在第1半透光部與第2半透光部的邊界處，第1半透光膜和第2...
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