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新型吸光劑及含有它的用于形成有機(jī)抗反射膜的組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2701538

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本發(fā)明提供一種由以下化學(xué)式1表示的新型吸光劑及含有它的用于形成有機(jī)抗反射膜的組合物,該吸光劑對(duì)需要形成微細(xì)圖案的光刻過(guò)程、特別是利用248nmKrF準(zhǔn)分子激光形成超微細(xì)圖案的光刻過(guò)程中曝光時(shí)所產(chǎn)生的反射光具有優(yōu)異的吸收性,并有用于形成有機(jī)抗反射膜及利用它形成半導(dǎo)體元件的微細(xì)圖案,化學(xué)式1,在上述式中,各取代基與說(shuō)明書(shū)中所定義的相同。專(zhuān)利說(shuō)明新型吸光劑及含有它的用于形成有機(jī)抗反射膜的組合物[0001]本發(fā)明涉及利用光刻法形成圖案的過(guò)程中能夠吸收曝光時(shí)所產(chǎn)生的...
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