技術編號：2701170
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種照明光學系統(tǒng)，其在來自光源（1）的光線的基礎上對要照明的表面照明，所述照明光學系統(tǒng)具有第一光學路徑，衍射光學元件（6）可布置于其中的第一位置處；第二光學路徑，具有二維地形成陣列且個別地加以控制的多個光學元件（3a）的空間光調制器（3）可布置于其中的第二位置處；和第三光學路徑，其為已通過所述第一光學路徑和所述第二光學路徑中的至少一者的光線的光學路徑且一種分布形成光學系統(tǒng)（11）布置于其中。所述分布形成光學系統(tǒng)（11）基于已通過所述第一光學路徑和所述第二光...
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