技術(shù)編號：2701168
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。為了制造大面積平板顯示器（FPD），使用包含至少兩個膜的多層型的層或連續(xù)層來形成相移層，該膜含有金屬和輕元素，例如氮（N）、氧（O）和碳（C）。該多層型的層或連續(xù)層是通過在透明襯底上堆疊具有不同組成和不同蝕刻速率的至少兩個膜來形成。因此，該相移層的厚度可以減小，并且邊緣部分的截面的斜坡可以在該相移層的圖案化過程中陡峭地形成，使得相移層圖案之間的邊界可以是清晰的。結(jié)果是，可以確保該相移層的均勻性，因此可以制造出具有更精細(xì)圖案的大面積FPD產(chǎn)品。專利說明用于平...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。