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波長(zhǎng)可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光模塊及電子設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2701007

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本發(fā)明提供了波長(zhǎng)可變干涉濾波器、濾光器設(shè)備、光模塊、電子設(shè)備以及波長(zhǎng)可變干涉濾波器的制造方法,該波長(zhǎng)可變干涉濾波器具備相對(duì)的固定基板和可動(dòng)基板,固定基板具有固定反射膜、第一驅(qū)動(dòng)電極以及第一電容檢測(cè)電極,可動(dòng)基板具有與固定反射膜隔著反射膜間間隙配置的可動(dòng)反射膜、與第一驅(qū)動(dòng)電極隔著驅(qū)動(dòng)電極間間隙配置的第二驅(qū)動(dòng)電極、以及與第一電容檢測(cè)電極隔著電容檢測(cè)電極間間隙配置的第二電容檢測(cè)電極。電容檢測(cè)電極是該電極間的靜電電容檢測(cè)用電極。通過(guò)驅(qū)動(dòng)電極使反射膜間間隙的間隙量變...
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