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用于光電組件的晶圓級封裝的模制玻璃蓋的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2699150

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本發(fā)明提供了一種光電組件,該光學(xué)組件包括用于支持多個相互連接的光學(xué)和電氣元件的基底20(通常為硅或玻璃)。密封材料層22被設(shè)置成勾勒基底的限定周邊區(qū)域的輪廓。模制玻璃蓋10被設(shè)置在基底上并與基底結(jié)合,其中模制玻璃蓋被配置為產(chǎn)生與基底的限定周邊區(qū)域相匹配的占用區(qū)。模制玻璃蓋的底表面包括與基底的密封材料層相接觸的結(jié)合材料層,一旦接觸,則產(chǎn)生結(jié)合組件。在一種形式中,提出了一種晶圓級組裝工藝,其中多個光電組件被設(shè)置在硅晶圓上,且多個玻璃蓋被模制在之后被結(jié)合到硅晶圓...
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